产品xing号	G5U-PH
产品名称	5mm正立式激光干sheyi
测试口径	Φ5mm
辅助对准口径	Φ30mm
标准綿e鎥ingjingdu	λ/20
光源	进口He-Ne激光器（632.8nm)
光路切换	辅助guan察（Φ30mmdashi场）与测试（Φ5mm小shi场）mo式dian控切换
dian源	AC220V50HZ
标peipei件	qi浮减震平台

软件名称	移相算fa（简称PH）
fen析xiang目	透guobo前PV值、平行duTilt值、ttv等
测试重复性	PV：0.01λ   RMS:0.003λ
测试允许误差	PV<1λ时    PV：0.05λ   Tilt：0.2fr（零场调整为1gen条纹） 1λ<PV<2λ时  PV：0.1λ   Tilt：0.5fr（零场调整为1gen条纹） 2λ<PV<3λ时  PV：0.2λ   Tilt：1fr（零场调整为1gen条纹）
测试时jian	1.5miao

相同摄像縵i贕5U及G10U干sheyitu像对比
 

 

 

 最da可准确测量的像差，G5U-PH相对于G10U-PH的升级见下表：

注：PV（背景零场测试值）为背景调整为零条纹时，直接测量suode的PV值。   

在测试摄像小孔区域的平行du时，需要预先ba空腔调整至接近零条纹。当测试口径为Φ5mm时，由于guan察shi场非常小，调整零条纹的jingdu较di。为此，G5U-PH干she襮ie敫ㄖ鷊uan察mo式，可以在Φ30mm的dashi场下调节空腔的零场，保证零场调节jingdu。

He-Ne激光器相比半导ti激光相比有如下优点：相干性稳ding、优良，干shetu的对比du及清xidu更gao，qieshou命很长（一般可达到2万小时以上）。半导ti激光器随温dubian化产生的温飘会使干she条纹的对比du、清xiduzhou期性bian差，对shu字化测量有很da影xiang；qieshou命较短，易被jingdian损伤。

yi器标peiqi浮减震平台，ji使在huan境恶lie的生产xian场亦可以保证稳ding、可靠的测试。

yi器可通guo串口与zi动化设备进衳ingㄑ丁ie进口He-Ne激光器与qi浮减震平台的使用，使yi器可以在wu人干预的情kuang下，保证稳ding、可靠的测试，hou续可升级zi动化测试。